ISO 14644 根據(jù)懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室（區(qū)）及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。根據(jù)粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空氣潔凈度分級標準

ISO14644-1 （國際標準）

空氣潔凈度等級（N） 大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平。

GB/T16292-1996 （中國標準）

粒徑、數(shù)值潔凈度級別 塵埃最大允許數(shù)/立方米 微生物最大允許數(shù) ≥0.5um ≥5um 浮游菌/立方米 沉降菌/皿 100 級 3,500 0 5 1 10,000 級 350,000 2,000 100 3 100,000 級 3,500,000 20,000 500 10 300,000 級 10,500,000 60,000 — 15 美國聯(lián)邦標準 209D 潔凈室分級：（已停用）空氣潔凈度等級（N） 大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 5 um 1 35 7.5 3 1 10 350 75 30 10 100 750 300 100 1000 1000 7 10000 10000 70 100000 10000 700

英國 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級

空氣潔凈度等級（N） 大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） 0.3um 0.5um 5um 10um 25 um C 100 35 0 D 1000 350 0 E 10000 3500 0 F 3500 0 G 100000 35000 200 0 H 35000 200 0 J 350000 2000 450 0 K 3500000 20000 4500 500 L 200000 45000 5000 M 450000 50000

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